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사업영역
ITO는 각종 액정 평판 디스플레이용 투명 전극으로 사용되는 물질입니다.

개요

“순수 100% 국내 독자기술의 ITO"

ITO란 INDIUM TIN OXIDE의 약자로, 투명성과 전도성이 동시에 요구되어지는 각종 액정 평판 디스플레이용 투명 전극으로 사용되는 물질이다. 또한 SPUTTERING 혹은 E-BEAM을 통한 방법으로 코딩하는데 사용되는 소결체가 ITO TARGET이다.

ITO Target의 특장점

  • 01순수 100% 국내 독자기술로 개발
  • 02세계 최고 수준의 독자적 In2O3 나노 분말 제조 공법
  • 03우수한 내구성 (High Thermal Stability)
  • 04저 파티클 발생
  • 05저 저항 고 투과율 특성
  • 05고객 중심의 서비스

종류

ITO의 종류

제품 종류 성분 사양 특성(Density) 제조 규격 비고
스퍼터 타겟
(Sputter)
In2O3:Sno2(90:10±0.5wt%) ≥99% 길이 ≥850 /㎜ FPD/SEMI
In2O3:Sno2(97:3±0.2wt%) ≥99% ≥500 /㎜
In2O3Sno2(95:5±0.3wt%) ≥99% 두께 ≥12 /㎜
증착재
(Evaporator)
In2O3Sno2(90:10±0.5wt%) ≥60%/ ≥90% 길이 User Option Pellet/
Tablet
In2O3Sno2(97:3±0.5wt%) ≥60%/ ≥90%
In2O3Sno2(95:5±0.5wt%) ≥60%/ ≥90% 두께
분말
(Powder)
In2O3Sno2(90:10±0.5wt%) -   - -
In2O3Sno2(97:3±0.5wt%)
In2O3Sno2(95:5±0.5wt%)

ITO의 용도

ITO의 용도

검사기준

ITO의 검사기준

No. ITEM UNIT SPEC. 비고
1 PURITY wt% ≥99.99  
2 DENSITY g/c
m3
≥7.08
(Relative Density: >99%)
 
3 IMPURITY Fe wt% ≤0.002  
Cr wt% ≤0.0005  
Ni wt% ≤0.001  
Cu wt% ≤0.0005  
Si wt% ≤0.005  
4 SIZE W mm ≤±0.3  
L mm ≤±0.3  
T mm ≤+0.3/-0  
5 BONDING Ratio % ≥95 97~98%
Tolerance mm ≤± 1 ≤± 0.5
Warpage mm ≤3 ≤2
6 VISUAL INSPECTION

제품공정

ITO의 제품공정

ITO의 제품공정

기술자료 - 특성

낮으 면 저항

낮은 면 저항

뛰어난 표면처리

  규격(spec) Example
표면조도
(Roughness)
< 0.5 ㎛ 뛰어난 표면처리 예
모서리가공
(Edge)
R 0.3 mm

우수한 안전성

기술자료 - 검사설비

ITO Target의 검사설비

검사설비
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